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伞齿轮升降平台通过多台升降机同时升降来完成整个平面的升降,与单台升降机相比,负载分散力更加均匀,在运行方面更加平稳。
伞齿轮升降机分为伞齿轮T型丝杆升降机和伞齿轮滚珠丝杆升降机。伞齿轮升降机通过转角方式使基板同步升降,并用四点运动串连及六点运动串连和十二点运动串连,使基板高度降低,减少运动上的误差,同时,平面升降更能直接迅速达到效能,节省使用空间,提高产量,品质稳定性更高。
使用效率相较于涡轮丝杆升降机较高,且容易调整减速比,他的效率高,使用寿命长,同时具有结构紧凑、体积小,重量轻、动源广泛、噪音、安装方便、使用灵活、功能多、可靠性高等许多优点。而伞齿轮升降平台通过多台升降机同时升降来完成整个平面的升降,与单台升降机相比,负载分散力更加均匀,在运行方面更加平稳。