晶体生长炉

一·设备用途：

主要用于LED行业的蓝宝石晶体制备。

二·设备特点：

本设备采用分体模块化设计，立式底出料结构，炉体，真空系统，电控系统分别模块化式设计，现场三大模块按照平面布置图拼接组合起来，不用每样都分别拆分组装，安装方便快捷，***整洁大方。

三·主要技术参数

1.**加热温度：              1800℃

2.功率：                    80Kw±10%单相整流
2.冷态极限真空度：            ≤5×10E-**a

3.压升率：                  ≤2Pa/h
4.炉体尺寸：                Ф750×1065mm（直径×高）

5·工作尺寸：                Ф320×300

6.测温系统：                 热电偶

7.控温精度：                 ±0.1℃，采用欧陆温控仪表

8.加热区：                   一区

9.坩埚升降参数：              位移行程 400mm

慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm

 快速升降50-200mm/min（伺服控制）

10.底出料参数：                 位移行程 850mm

  升降速度100-1000mm/min

11·炉内充气压力：             ≤0.05MPa

12·充放气系统：               两路（一路采用电磁阀充放气，一路预留充放气接口）

传