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产品详情
采用*的磁流体密封技术，具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。具有更灵敏的碰撞保护功能，有效保护机械手和客户晶圆。全新的轨迹规划，提高运动节拍，提高了用户产能。安全区保护等功能有效地提高了产品的安全等级。在半导体前道设备中广泛应用，对设备可靠性要求高。灵活的本地化、可定制化服务，快速响应的售后服务，以及敦实的技术实力，是我们的主要竞争力。推动了国内半导体产业链的进步，有效的支撑了国内设备商的发展。
参数：
型号 | SRBZ820C-SMSX | |
密封方式 | 磁流体密封 | |
自由度数 | 2 | |
负载 | 名称 | 托盘 |
直径 | Φ330mm | |
重量 | 1.5kg | |
运动范围 | R轴（mm） | 立柱中心至R轴伸展处被搬运物体中心距离820 |
θ轴（°） | 360 | |
全行程最小时间 | R轴（s） | 2.5 |
θ轴（s） | 4.8 | |
重复定位精度 | θ轴（°） | ±0.01（3σ） |
R轴（mm） | ±0.1（3σ） | |
重量 | 机械手本体 | 41kg |
控制器 | 15kg | |
耐真空度(Pa) | ＜5×10-9 Torr | |
漏率 | ＜1×10-9 std.cc/sec He | |
碰撞保护 | 盘片和机械手无损伤 | |
行程 | 820mm | |
电源范围 电压波动范围 | 单相交流208V +10%，-15% | |
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