供应
供应
产品详情
大负载真空机械手， LED芯片制造领域的真空机械手产品，主要用于LED芯片制造过程中，实现装有大量LED晶圆的托盘在各个工艺腔室间的传送，具有真空度高，负载大，传输效率高，耐高温等特点，大大提高了LED芯片生产制造的良率和效率，是LED芯片制造装备的关键产品。传统的LED芯片制造采用集成电路制造制程应用的真空机械手，其负载能力只有1kg。本产品在集成电路制造用真空机械手的基础上，针对其大负载需求，创新了其传输结构和控制规律，使其能够达到20.5kg的负载能力，同时保持很小的占用体积，保持高耐真空度及洁净等级。
更多详情，请单击新松洁净产品资料库
| 结构形式Mechanical Structure | 柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
|---|---|---|
| 驱动方式Driving method | 伺服电机Servo Motor | |
| 手数量Number of Arm | 单臂Single Arm | |
| 负载Payload | 名称name | 托盘Tray |
| 直径diameter | Φ710mm | |
| 重量weight | ≤10.5kg | |
| 自由度数DOF | 3 | |
| 手臂长度Arm Length | 355mm | |
手指长度（安装中心至硅片中心） Finger length(distance from install center to wafer center) | 765mm | |
运动范围 Moving Range | Z轴Z-axis | 150mm |
| R轴，机械手旋转中心至工艺腔中心 R-axis, robot center to process chamber center | 极限(Ultimate)1440mm | |
| θ轴θ-axis | 无限回转Infinite Rotation | |
全行程最小时间 Minimum running time | Z轴Z-axis | 1s/35mm |
| R轴R-axis | 5s/伸出或缩回Extend or Retraction | |
| θ轴θ-axis | 5s/180° | |
重复定位精度 Repeatability | θ轴（°）θ-Axis | ±0.01（3σ） |
| R轴（mm）R-Axis | ±0.1（3σ） | |
机械手带φ710mm负载后最小回转直径 Robot minimum turning diameter with Φ 710 mm load | 1530mm | |
伸出1440mm负载直径710mm最前端下垂量 The front sag of robot which out of 1440mm with Φ 710 mm load | 5.5mm | |
| 重复定位精度Repeatability | ±0.2mm | |
| 耐真空度Base Pressure (Pa) | 10-6Pa | |
| 重量Weight | 机械手本体Main-body | 100kg |
| 控制器Controller | 15kg | |
| 碰撞保护Collision Protect Function | 盘片和机械手无损伤/工位需重新校准 | |
摘要:在整个码头作业时，为了完
[详细]
摘要:前、后悬总成底盘合装移动
[详细]
摘要:新松叉式移动机器人具备叉
[详细]
摘要:产品简介合装移动机器人（A
[详细]
摘要:产品简介合装移动机器人（A
[详细]
摘要:产品简介：合装移动机器人
[详细]
摘要:产品简介合装移动机器人（A
[详细]
摘要:产品简介合装移动机器人（A
[详细]
吸塑模具 塑胶容器 塑料切粒机 脱模剂 再生料 lldpe 塑料颗粒搅拌机 塑料背心袋 特种塑料 夹布胶管 切粒机 abs价格 色母 油过滤器 编织硅胶管 硅胶管 油冷却器 除湿设备 橡胶磨具 橡胶模具 塑料容器 柔版印刷机 凸版印刷机 管材生产线 除湿干燥器 塑料吹膜机 硅胶管价格 塑料再生料 无纺布制袋机 泡沫造粒机 塑料磨粉机 拉丝机价格 炼胶机 背心袋制袋机 吸塑机价格 塑料吹瓶机 注塑机螺杆
