真空机械手PHOENIX-B系列-塑料机械设备供应网

产品详情

直驱电机结构具有更高的真空特性，内部结构没有齿轮，皮带等部件，系统运行的平稳性更好，可靠性更高。全新的IO模块，具有更多的输出输入引脚，用户可以根据需求配置成互锁，传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能，方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能，减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器，方便调试人员使用，并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z轴行程，耐高温耐腐蚀特性等。

参数：

本体重量Body Weight	50KG
适用晶圆尺寸Wafer Size	300mm/200mm/150mm/100mm
负载Payload	1KG
电源输入Power Supply	AC电压:AC208V AC频率：50HZ/60HZ
节拍Bear	8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根据手指材料，传输位置不同相关)
动态偏差纠正精度(AWC)	±0.1mm
重复定位精度Repeatability	Z: ±0.05mm（3σ）
	T: ±0.003°（3σ）
	R: ±0.05mm（3σ）
漏率Leak rate	< 1 x 10^-9 std. cc/sec He
真空度Base Pressure	5X10^-9Torr
适用温度 Applicable temperature	法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃
洁净度Clean Class	ISO CLASS1
MCBF	>11million cycles
复合运动 Compound motion	支持Support
PC远程操作软件	支持Support
通信接口Communications	Ethernet/串口serial interface
IO互锁IO interlock	支持Support
安全区Safe area	支持Support
碰撞保护 Collision protection	支持Support
认证Certification	SEMI S2 /SEMI F47/CE