BP210系列硅谐振压力传感器

1、主要特点：

•  数字化系统协同设计、MEMS工艺制造

•  谐振工作原理健壮、本征数字输出信号

•  振子真空微囊包裹结构、高Q值长期稳定

•  差频工作模式、分辨率和灵敏度高

•  适于表压、绝压、差压高精度测量

•  覆盖低、中、高宽压力量程范围

2、主要性能技术指标

序号	项目	规格指标		备注
1	压力类型	表压、差压	绝压	绝压
	基准压力量程	0～1kPa、2kPa、3kPa、6kPa、10kPa、20kPa、30kPa、60kPa、100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10MPa	100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa、20MPa、20MPa、40MPa、60MPa	1*
2	过载能力	≥3倍基准量程（≤10MPa）；≥1. 5倍基准量程（＞10MPa）；≥1. 25倍基准量程（≥60MPa）		1*
	被测介质	与金属、单晶硅、玻璃兼容的非腐蚀性、绝缘气体和液体
3	激励电源	5～24 Vdc
4	准确度	≤ ±0.05%FS，≤ ±0.02%FS，≤ ±0.01%FS		2*、3*
5	工作温度范围	-55～+125℃
6	补偿温度范围	－55～＋85℃
7	典型工作频率	30～50kHz		2*
8	灵敏度	2～15Hz/hPa		2*
9	Q值	＞20000
10	长期稳定性	±0.02%FS/年		2*、
11	电流消耗	3.5mA
12	绝缘电阻	>100MW		8*
13	电气连接模式	接插件、多芯线缆
14	测量接口形式	螺纹、法兰		6*

注：1^*. 可用户定制；

      2^*. 5VDC恒压激励，恒温25℃； 

      3^*.非线性数据计算为最小二乘法；

      4^*. 100VDC。

注：可提供定制服务，如有需求请与营销人员联系。