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产品详情

智能气路控制仪是基于热式气体质量流量控制器，来进行多种气体混合，浓度稀释的一种装置。可根据客户的需求定制不同的气体、流量、浓度稀释范围，并利用软件进行控制。

产品优势：

► 流量监测、记录 ► 自动多段进气

► 浓度自动配比 ► 多种气体可选

► MFC 故障监测 ► 超压检测与报警处理

► 无线通讯控制（可定制） ► 手机APP监测（可定制）

产品参数：

产品名称	智能气路控制仪
项目	参数	备注
流量范围	标准四路	100SCCM 500SCCM 2SLM 5SLM (其他量程可定制，至大量程不超过30SLM)
精度	±1%F.S.	其他精度可选
响应时间	2秒
重复性	0.2%F.S.	单路重复精度0.2%F.S.
截止功能	≤0.6MPa	标配，位于总出气口，常闭截止阀
整机尺寸	490mm×500mm×200mm	深×宽×高
供电电压	220VAC	100W
单项功能	√	4路标配，位于混气前，避免气体返流
自动进气	√	4路标配，按时间和流量自由编辑 10段数据点，3组数据切换，任意循环（定制）可实现：浓度配气，时间配气，压力配气
自动报警	√	标配，自动报警，自动关断，实时监控设备状态
数据处理	√	标配，数据记录保存，导出到U盘进行存储
外接通讯	可选	MODBUS-RTU
漏率	＜1×108atm.cc /sec He