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更新时间:2024-05-25
有效日期:还剩69天
产品详情
台阶仪
台阶仪集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测。
项 目 简 述
参数说明
1.共焦
可快速垂直扫描的旋转共焦技术。
使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150倍) 全视野3D镜头,用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉测量>: 72° vs 44°) 。
具有光学形貌上超高的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机, 空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的理想配置。
在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制
应用于透明层/薄膜。
兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。
长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。
高稳定性。
2.干涉仪(WLI)
Z向高分辨率
兼具相移(PSI)以及垂直扫描(VSI)模式
Z向分辨率可独立放大
四色CCD 相机,用户可自选的LED光源 (白光、绿光、蓝光和红光)
高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机
快速处理器
自动对焦
3.原子力显微镜
探针扫描可用于大型模板
X、Y、Z三向可达原子级分辨率
大压电探针扫描XY: 达到 110x110um
4.变焦
粗糙表面分析
快速分析
一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪 高精度原子力显微镜
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